•两支独立可调电磁聚焦离子枪
•同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)
•超宽加速电压范围:100eV 到10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保 持最细最优束斑状态
•每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测
•采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁
•减薄角度范围:-15°到 10°连续可调
•样品载台X-Y 可调,可根据需要调整样品减薄位置
•具备原位实时观察及记录减薄过程功能
•样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹
•可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤
•可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触